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实验室 微波91成人看片下载去胶机NE-MW10
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产品简介

微波91成人看片下载去胶机NE-MW10可用于批量晶圆去胶和清除残胶,专为实验室和研发使用而设计, 设备使用2.45GHz微波91成人看片下载源,在真空腔内将氧气起辉激发至高能量的91成人看片下载体态后轰击样品表面的光刻胶、聚酰亚胺等有机物,高能的氧91成人看片下载体可破坏碳碳键,从而将吸附的有机杂质反应成气态脱离表面,也可在样品表面形成羟基,以实现清洁和活化的目的。

微波放电是一种在低气压下形成高密度91成人看片下载体的技术,它具有无极放电、高密度、高电离度、高活性等特点,不产生自偏压,不会对CMOS,MEMS等敏感器件造成损伤。

产品参数

型号NE-MW10
腔体尺寸
Ф170*250(D)
腔体容量6L
处理层数1层
91成人看片下载发生器频率2.45GHZ
91成人看片下载发生器功率600W
控制系统PLC+HMI
真空泵干泵/油泵(可选)
输入电压
220V
外形尺寸465*415*480


产品应用

01

去除光刻胶

去除光刻胶

02

聚酰亚胺刻蚀

聚酰亚胺刻蚀

03

有机薄膜去除

有机薄膜去除

04

样品的活化和清洁处理

样品的活化和清洁处理

05

光刻后的残胶去除

光刻后的残胶去除

06

MEMS制造中去除牺牲层

MEMS制造中去除牺牲层

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